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IS&T's 47th Annual Conference Proceedings, Volume 2, The Society of Imaging Science and Technology, 841-844 (1994)
Sen'i Gakkaishi(J. Society of Fiber Sci. and Tech., Japan) 49(7), 373-377(1993)
Evaluation of stylus profilometry using topographic scanning electron microscopy
触針式表面形状測定機による表面プロファイルの評価
TOSHIHARU ENOMAE AND FUMIHIKO ONABE(江前敏晴、尾鍋史彦)
PAPER SCIENCE LABORATORY
DEPARTMENT OF BIOMATERIAL SCIENCES
GRAD. SCHOOL OF AGRICULTURAL AND LIFE SCIENCES
THE UNIVERSITY OF TOKYO
YAYOI 1-1-1, BUNKYO-KU, TOKYO 113
JAPAN
ABSTRACT
A new technique of topographic scanning electron microscopy was used to study the influence of tracking with the stylus in contact profilometry of paper surfaces. Microscopically determined profile curves were analyzed in terms of Fourier components. By selecting a wavelength range below a cut-off wavelength, the profile change caused by the tracking with the stylus was detected effectively. With an optimal cut-off wavelength of 16 um, the deformation of the surface of a woodfree paper by stylus tracking was clearly shown. This cut-off wavelength corresponds to three times of the radius of curvature of the stylus tip.
接触方式である触針式表面形状測定機によって紙表面を測定した際に起きる針のスクラッチ現象を、新しい技術であるトポグラフィックＳＥＭを用いて検討した。このＳＥＭによって測定された触針トレースのある箇所とない箇所の断面曲線についてスペクトル解析を行った。一定波長以上のスペクトル成分をカットオフし、中心線平均粗さを比較することにより、触針のスクラッチが断面曲線に与える影響を分析することができた。上質紙の場合、波長約１６μｍ以下のレベルで両者の断面曲線に有為な差があり、触針によるスクラッチの影響が現れることがわかった。これは触針先端の曲率半径の約３倍に相当する。キャストコート紙では全波長領域で有為な差があった。